Kinija Silicio karbido danga Gamintojas, tiekėjas, gamykla

VeTek Semiconductor specializuojasi ypač grynų silicio karbido dangų gaminių gamyboje, šios dangos skirtos dengti išgrynintam grafitui, keramikai ir ugniai atspariems metalo komponentams.

Mūsų didelio grynumo dangos pirmiausia skirtos naudoti puslaidininkių ir elektronikos pramonėje. Jie tarnauja kaip apsauginis sluoksnis plokštelių laikikliams, susceptoriams ir kaitinimo elementams, apsaugant juos nuo korozinės ir reaktyvios aplinkos, atsirandančios tokiuose procesuose kaip MOCVD ir EPI. Šie procesai yra neatsiejami nuo plokštelių apdorojimo ir prietaisų gamybos. Be to, mūsų dangos puikiai tinka naudoti vakuuminėse krosnyse ir mėginių šildymui, kur susiduriama su didelio vakuumo, reaktyviosios ir deguonies aplinka.

„VeTek Semiconductor“ siūlo visapusišką sprendimą su mūsų pažangiomis mašinų parduotuvės galimybėmis. Tai leidžia mums gaminti pagrindinius komponentus naudojant grafitą, keramiką ar ugniai atsparius metalus, o SiC arba TaC keramines dangas dengti patys. Taip pat teikiame klientų tiekiamų dalių dengimo paslaugas, užtikriname lankstumą, kad atitiktų įvairius poreikius.

Mūsų silicio karbido dangos gaminiai yra plačiai naudojami Si epitaksijoje, SiC epitaksijoje, MOCVD sistemoje, RTP / RTA procese, ėsdinimo procese, ICP / PSS ėsdinimo procese, įvairių tipų šviesos diodų procese, įskaitant mėlyną ir žalią LED, UV LED ir giliai UV. LED ir kt., kuris pritaikytas LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI ir pan.

Mes galime pagaminti reaktoriaus dalis:

Silicio karbido danga turi keletą unikalių privalumų:

Silicon Carbide Coating several unique advantages

„VeTek“ puslaidininkinės silicio karbido dangos parametras

Pagrindinės fizinės CVD SiC dangos savybės
Turtas	Tipinė vertė
Kristalinė struktūra	FCC β fazės polikristalinė, daugiausia (111) orientuota
SiC danga Tankis	3,21 g/cm³
SiC danga Kietumas	2500 Vickers kietumas (500 g apkrova)
grūdų dydis	2 ~ 10 μm
Cheminis grynumas	99,99995 %
Šilumos talpa	640 J·kg^-1·K^-1
Sublimacijos temperatūra	2700 ℃
Lankstumo stiprumas	415 MPa RT 4 taškų
Youngo modulis	430 Gpa 4pt lenkimas, 1300 ℃
Šilumos laidumas	300 W · m^-1·K^-1
Šiluminė plėtra (CTE)	4,5×10-6K^-1

CVD SIC PLĖVELĖS KRISTALO STRUKTŪRA

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE

Silicio karbidu padengtas Epi susceptorius SiC dangos plokštelių laikiklis SiC padengtas palydovinis gaubtas MOCVD CVD SiC Coating Wafer Epi Susceptor CVD SiC dangos kaitinimo elementas Aixtron Satellite plokštelių laikiklis SiC Coating Epi imtuvas SiC danga pusmėnulio grafito detalės

View as

Kieto SiC dujinė dušo galvutė

Kietojo SiC dujinė dušo galvutė atlieka svarbų vaidmenį, kad dujos būtų vienodos CVD procese, taip užtikrinant vienodą pagrindo šildymą. „VeTek Semiconductor“ jau daugelį metų aktyviai dirba kietojo SiC įrenginių srityje ir gali pateikti klientams pritaikytas kieto SiC dujų dušo galvutes. Nesvarbu, kokie yra jūsų reikalavimai, laukiame jūsų užklausos.

Skaityti daugiau Siųsti užklausą

Cheminio nusodinimo garais procesas Kieto SiC krašto žiedas

„VeTek Semiconductor“ visada buvo įsipareigojusi pažangių puslaidininkinių medžiagų tyrimams ir plėtrai bei gamybai. Šiandien „VeTek Semiconductor“ padarė didelę pažangą gamindama kieto SiC krašto žiedų gaminius ir gali klientams pateikti labai pritaikytus kieto SiC briaunų žiedus. Kieto SiC krašto žiedai užtikrina geresnį ėsdinimo vienodumą ir tikslią plokštelės padėtį, kai naudojami su elektrostatiniu griebtuvu, taip užtikrinant nuoseklius ir patikimus ėsdinimo rezultatus. Laukiame jūsų užklausos ir tapsime vienas kito ilgalaikiais partneriais.

Skaityti daugiau Siųsti užklausą

Kieto SiC ėsdinimo fokusavimo žiedas

Kietojo SiC ėsdinimo fokusavimo žiedas yra vienas iš pagrindinių plokštelių ėsdinimo proceso komponentų, kuris atlieka vaidmenį fiksuojant plokštelę, fokusuojant plazmą ir gerinant plokštelių ėsdinimo vienodumą. Kaip pirmaujanti SiC fokusavimo žiedų gamintoja Kinijoje, „VeTek Semiconductor“ turi pažangias technologijas ir brandų procesą bei gamina kietojo SiC ėsdinimo fokusavimo žiedą, kuris visiškai atitinka galutinių klientų poreikius pagal klientų poreikius. Laukiame jūsų užklausos ir tapsime vienas kito ilgalaikiais partneriais.

Skaityti daugiau Siųsti užklausą

<...14 15 16 17 18 >

Kaip profesionalus Silicio karbido danga gamintojas ir tiekėjas Kinijoje, turime savo gamyklą. Nesvarbu, ar jums reikia pritaikytų paslaugų, kurios atitiktų konkrečius jūsų regiono poreikius, ar norite įsigyti pažangių ir patvarių Silicio karbido danga, pagamintų Kinijoje, galite palikti mums pranešimą.