Fizinis nusodinimas iš garų

„Vetek Semiconductor“ yra Kinijos gamintojas, tiekiantis pažangias puslaidininkines medžiagas fizinio nusodinimo iš garų procese, pvz.SiC dengtas tiglis, stiklinis anglies tiglis,SiC dangos grafito šildytuvai,Elektronspindulių garinimo tigliai.

Pagrindiniai PVD proceso principai

Fizinio nusodinimo garais procesai paprastai apima įvairius specifinius metodus, tokius kaip garinimas, purškimas ir jonų padengimas. Nepriklausomai nuo naudojamo metodo, pagrindinis fizinio nusodinimo garais principas yra išgarinti medžiagą iš šaltinio kaitinant aukštoje temperatūroje arba bombarduojant jonus. Išgaravusi medžiaga juda atomų arba molekulių pavidalu vakuume arba žemo slėgio aplinkoje ir kondensuojasi į ploną plėvelę ant pagrindo paviršiaus. Šis procesas daugiausia pasiekiamas fizinėmis priemonėmis, taip išvengiant cheminių reakcijų įtakos medžiagos grynumui.

Fizinio garų nusodinimo technologijos privalumai

Didelis grynumas ir didelis tankis: PVD nusodintos plėvelės paprastai pasižymi dideliu grynumu ir tankiu, o tai gali žymiai pagerinti dangos veikimą, pvz., atsparumą dilimui, atsparumą korozijai ir kietumą.

Stiprus plėvelės sukibimas: PVD procesas gali suformuoti plėvelę su stipriu sukibimu su pagrindu, užtikrinant, kad naudojant plėvelę nebus lengva nulupti, pratęsiant gaminio tarnavimo laiką.

Platus medžiagų pasirinkimas: PVD technologija gali būti taikoma įvairioms medžiagoms, įskaitant metalus, keramiką ir lydinius, ir gali paruošti įvairias funkcines dangas, tokias kaip laidžios, izoliacinės, karščiui atsparios ir antioksidacinės dangos.

Aplinkos apsauga ir tvarumas: Palyginti su tokiais procesais kaip cheminis nusodinimas iš garų (CVD), fizinio nusodinimo garais (PVD) procesas yra draugiškesnis aplinkai, nesusidaro kenksmingų dujų ir mažina aplinkos taršą.

PVD technologijos taikymas

Puslaidininkių pramonė: Puslaidininkių gamyboje fizinis nusodinimas iš garų dažnai naudojamas ruošiant plonasluoksnius elektrodus, difuzijos barjerus ir metalines jungtis, siekiant užtikrinti gerą komponentų laidumą ir stabilumą.

Optiniai įrenginiai: Fizinio garų nusodinimo technologija plačiai naudojama optinėse dangose, pvz., veidrodžių ir lęšių antirefleksinėse dangose, ir optinių filtrų gamyboje, siekiant pagerinti optinių prietaisų veikimą.