Poringas tantalo karbidas: naujos kartos medžiagos, skirtos SiC kristalų auginimui

Palaipsniui masiškai gaminant laidžius SiC substratus, keliami didesni reikalavimai proceso stabilumui ir pakartojamumui. Visų pirma, krosnies šiluminio lauko defektų, nedidelių koregavimo ar dreifo kontrolė lems kristalo pokyčius arba defektų padidėjimą.

Vėlesniame etape susidursime su iššūkiu „augti greičiau, storesni ir ilgiau“. Be teorijos ir inžinerijos tobulinimo, kaip parama reikalingos pažangesnės šiluminio lauko medžiagos. Naudokite pažangias medžiagas pažangiems kristalams auginti.

Netinkamai naudojant tokias medžiagas kaip grafitas, akytas grafitas ir tantalo karbido milteliai tiglyje šiluminiame lauke gali atsirasti defektų, pvz., padidės anglies intarpai. Be to, kai kuriais atvejais porėto grafito pralaidumo nepakanka, todėl pralaidumui padidinti reikia atidaryti papildomas skylutes. Akytasis grafitas, turintis didelį pralaidumą, susiduria su tokiais iššūkiais kaip apdorojimas, miltelių praradimas ir ėsdinimas.

Neseniai VeTek Semiconductor pristatė naujos kartos SiC kristalų augimo šiluminio lauko medžiagas,akytas tantalo karbidas, pirmą kartą pasaulyje.

Tantalo karbidas pasižymi dideliu stiprumu ir kietumu, todėl dar sudėtingiau padaryti jį porėtą. Dar sudėtingiau yra pagaminti porėtą tantalo karbidą, turintį didelį poringumą ir didelio grynumo. „VeTek Semiconductor“ išleido proveržio porėtą didelio poringumo tantalo karbidą,kurio didžiausias poringumas yra 75%, pasiekiantis tarptautinį lyderio lygį.

Be to, jis gali būti naudojamas dujų fazės komponentų filtravimui, vietinių temperatūros gradientų reguliavimui, medžiagų srauto krypties nukreipimui, nuotėkio kontrolei ir kt.; jis gali būti derinamas su kita kieto tantalo karbido (tankiu) arba tantalo karbido danga VeTek Semiconductor, kad susidarytų komponentai su skirtingu vietiniu srauto laidumu; kai kurie komponentai gali būti naudojami pakartotinai.

Techniniai parametrai

Poringumas ≤75% Tarptautinis pirmaujantis

Forma: dribsniai, cilindro formos Tarptautinė lyderė

Vienodas poringumas

„VeTek“ puslaidininkinis akytasis tantalo karbidas (TaC) turi šias gaminio savybes

●   Akytumas įvairioms programoms

Porėta TaC struktūra suteikia daugiafunkciškumo, leidžiančią jį naudoti specializuotuose scenarijuose, pavyzdžiui:

Dujų difuzija: palengvina tikslų dujų srauto valdymą puslaidininkiniuose procesuose.

Filtravimas: Idealiai tinka aplinkai, kurioje reikalingas didelio efektyvumo kietųjų dalelių atskyrimas.

Kontroliuojamas šilumos išsiskyrimas: efektyviai valdo šilumą aukštos temperatūros sistemose, pagerindamas bendrą šilumos reguliavimą.

●   Atsparumas ypač aukštai temperatūrai

Lydymosi temperatūra yra maždaug 3880 °C, tantalo karbidas puikiai tinka naudoti ypač aukštoje temperatūroje. Šis išskirtinis atsparumas karščiui užtikrina pastovų veikimą tokiomis sąlygomis, kai sugenda dauguma medžiagų.

●   Puikus kietumas ir ilgaamžiškumas

Moso kietumo skalėje 9-10 reitingas, panašus į deimantą, Porous TaC demonstruoja neprilygstamą atsparumą mechaniniam nusidėvėjimui, net esant dideliam įtempimui. Dėl šio patvarumo jis idealiai tinka naudoti abrazyvinėje aplinkoje.

●   Išskirtinis terminis stabilumas

Tantalo karbidas išlaiko savo struktūrinį vientisumą ir efektyvumą esant dideliam karščiui. Nepaprastas šiluminis stabilumas užtikrina patikimą veikimą pramonės šakose, kurioms reikalingas aukštos temperatūros pastovumas, pavyzdžiui, puslaidininkių gamyboje ir aviacijos pramonėje.

●   Puikus šilumos laidumas

Nepaisant savo poringo pobūdžio, Porous TaC palaiko efektyvų šilumos perdavimą, todėl jį galima naudoti sistemose, kuriose labai svarbu greitai išsklaidyti šilumą. Ši savybė pagerina medžiagos pritaikymą daug šilumos reikalaujančiuose procesuose.

●   Mažas šiluminis plėtimasis, užtikrinantis matmenų stabilumą

Dėl mažo šiluminio plėtimosi koeficiento tantalo karbidas atsparus matmenų pokyčiams, atsirandantiems dėl temperatūros svyravimų. Ši savybė sumažina šiluminį įtampą, prailgina komponentų tarnavimo laiką ir išlaiko tikslumą kritinėse sistemose.

Puslaidininkių gamyboje akytasis tantalo karbidas (TaC) atlieka šiuos specifinius pagrindinius vaidmenis

●  Atliekant aukštų temperatūrų procesus, pvz., ėsdinimą plazmoje ir CVD, „VeTek“ puslaidininkinis akytasis tantalo karbidas dažnai naudojamas kaip apsauginė apdorojimo įrangos danga. Taip yra dėl didelio TaC dangos atsparumo korozijai ir jos stabilumo aukštoje temperatūroje. Šios savybės užtikrina, kad jis veiksmingai apsaugo paviršius, veikiamus reaktyviųjų dujų arba ekstremalių temperatūrų, taip užtikrinant normalią aukštos temperatūros procesų reakciją.

● Difuzijos procesuose akytasis tantalo karbidas gali būti veiksmingas difuzijos barjeras, neleidžiantis medžiagoms susimaišyti vykstant aukštos temperatūros procesams. Ši funkcija dažnai naudojama reguliuojant priemaišų sklaidą tokiuose procesuose kaip jonų implantacija ir puslaidininkinių plokštelių grynumo kontrolė.

●  Akyta „VeTek“ puslaidininkinio poringo tantalo karbido struktūra labai tinka puslaidininkių apdorojimo aplinkoms, kuriose reikalingas tikslus dujų srauto valdymas arba filtravimas. Šiame procese akytasis TaC daugiausia atlieka dujų filtravimo ir paskirstymo vaidmenį. Jo cheminis inertiškumas užtikrina, kad filtravimo proceso metu nepatektų teršalų. Tai veiksmingai garantuoja perdirbto produkto grynumą.

Apie VeTek Semiconductor

Kaip Kinijos profesionalus akytojo tantalo karbido gamintojas, tiekėjas, gamykla, turime savo gamyklą. Nesvarbu, ar jums reikia pritaikytų paslaugų, kad atitiktų konkrečius jūsų regiono poreikius, ar norite įsigyti pažangų ir patvarų porėtą tantalo karbidą, pagamintą Kinijoje, galite palikti mums žinutę.

Jei turite kokių nors klausimų ar reikia papildomos informacijos apiePorėtas tantalo karbidas、Tantalo karbidu padengtas akytasis grafitasir kitiTantalo karbidu dengti komponentai, nedvejodami susisiekite su mumis.

☏☏☏Mob/WhatsAPP: +86-180 6922 0752

☏☏☏paštas: anny@veteksemi.com