Vetek Semiconductor Wafer Handling End Effector yra svarbi puslaidininkių apdorojimo dalis, transportuojant plokšteles ir apsaugant jų paviršius nuo pažeidimų. VeTek Semiconductor, kaip pirmaujanti Wafer Handling End Effector gamintoja ir tiekėja, visada yra įsipareigojusi teikti klientams puikius Wafer Handling Robotic Arm produktus ir geriausias paslaugas. tikimės tapti jūsų ilgalaikiu partneriu plokštelių tvarkymo įrankių gaminių srityje.
Wafer Handling End Effector yra roboto rankos tipas, sukurtas specialiai puslaidininkių pramonei, paprastai naudojamas valdyti ir perkeltivafliai. Vaflių gamybos aplinka reikalauja itin didelės švaros, nes dėl smulkių dalelių ar teršalų apdorojimo metu lustai gali sugesti. Šių rankų gamyboje keraminės medžiagos plačiai naudojamos dėl puikių fizinių ir cheminių savybių.
Palyginti su tradicinėmis metalo medžiagomis, privalumaikeramikamedžiagose daugiausia atsispindi šiais aspektais:
•Atsparumas korozijai: Gamybos proceso metu plokšteles veikia įvairios cheminės medžiagos, o keraminės medžiagos gali efektyviai atsispirti korozijai ir užtikrinti ilgalaikį įrangos naudojimą.
•Mažas dalelių išsiskyrimas: Kadangi keramika turi labai mažai dalelių, apdorojimo metu ji vargiai išskiria daleles, todėl sumažėja plokštelės užteršimo rizika.
•Geras atsparumas aukštai temperatūrai: Kai kuriuose procesuose plokšteles reikia tvarkyti aukštos temperatūros aplinkoje, o keraminių medžiagų plokštelių apdorojimo roboto atsparumas aukštai temperatūrai leidžia jiems prisitaikyti prie šios atšiaurios aplinkos.
•Elektros izoliacija: Keramika yra natūralūs elektros izoliatoriai, kurie yra būtini apdorojant procesus, kuriuose dalyvauja srovė, ir gali užkirsti kelią statinei elektrai paveikti plokšteles.
Įprasta plokštelių tvarkymo įranga pagaminta iš aliuminio, o iš SiC pagaminta „VetekSemi Wafer Handling SiC Boat“ turi daug privalumų. SiC yra žinomas dėl savo puikaus mechaninio stiprumo, puikaus terminio stabilumo ir atsparumo korozijai. Dėl šių savybių jis yra ideali medžiaga Wafer Handling robotinei rankai, kur švara, tikslumas ir patikimumas yra labai svarbūs.
Nuolat tobulėjant puslaidininkių technologijoms, plokštelių dydis palaipsniui didėjo, o tai kelia aukštesnius reikalavimus Wafer Handling End Effector projektavimui ir gamybai. Ateityje, tobulėjant automatizavimo technologijoms, End Effector for Wafer Handling tikslumas, greitis ir patikimumas toliau gerės.
Kaip viena iš pagrindinių puslaidininkių gamybos įrangos, plokštelių apdorojimo robotai puslaidininkių gamyklose užima svarbią vietą dėl savo aukštos švaros, atsparumo korozijai ir aukštos temperatūros stabilumo. „VeTek Semiconductor“ gali teikti klientams pritaikytus „Wafer Handling End Effector“ gaminius ir išankstinio pardavimo bei po pardavimo paslaugas ir laukti jūsų konsultacijos.
VeTekSemVaflių tvarkymo pabaigos efektorius: