Aliuminio keramikos vakuuminis griebtuvas

Aliuminio keramikos vakuuminis griebtuvas yra plokštelių laikiklis, skirtas puslaidininkių apdorojimo epitaksiniams procesams. Tai pagrindinė priemonė plokštelėms stabilizuoti ir užtikrinti tolygų epitaksinių sluoksnių augimą. Jis plačiai naudojamas epitaksinėje įrangoje, pvzMOCVDirLPCVD.

„VeTek“ puslaidininkinis aliuminio oksido keramikos vakuuminis griebtuvas vaidina gyvybiškai svarbų vaidmenį puslaidininkių gamybos plokštelių retinimo ir šlifavimo etapuose. Šie etapai apima tikslų storio mažinimąvaflių substrataspadidinti lustų šilumos išsklaidymą, o tai būtina norint pagerinti puslaidininkinių įtaisų efektyvumą ir tarnavimo laiką.

Suderinamas su kelių dydžių plokštelėmis: „VeTek“ puslaidininkinis aliuminio oksido keramikos vakuuminis griebtuvas yra skirtas palaikyti įvairių dydžių plokšteles, įskaitant 2, 3, 4, 5, 6, 8 ir 12 colių. Dėl šio pritaikomumo jis tinka įvairioms puslaidininkių gamybos aplinkoms, užtikrinant nuoseklų ir patikimą įvairių dydžių plokštelių veikimą.

Aukščiausia medžiagų sudėtis: Aliuminio keramikos vakuuminio griebtuvo pagrindas yra pagamintas iš itin gryno 99,9999% aliuminio oksido (Al)₂O₃), kuris pasižymi puikiu atsparumu cheminiam poveikiui ir terminiam stabilumui. Griebtuvo paviršius pagamintas iš porėtosilicio karbidas (SiC). Porėta keraminė medžiaga turi tankią ir vienodą struktūrą, kuri pagerina jos ilgaamžiškumą ir našumą.

Privalumai išPoringos keramikos technologija：

Medžiagos grynumas ir ilgaamžiškumas: Pagaminta iš 99,99 % gryno aliuminio oksido, mūsų aliuminio oksido keramikos vakuuminis griebtuvas atsparus cheminiam poveikiui ir pasižymi puikiu šiluminiu stabilumu, todėl idealiai tinka itin reiklioms gamybos aplinkoms.

Optimalus poringumas ir oro pralaidumas: Evenly distributed micropores provide excellent air permeability and uniform adsorption force, resulting in smooth and consistent operation.

Padidėjęs plokštumas ir lygiagretumas: Mikroporiniai aliuminio oksido keramikiniai vakuuminiai griebtuvai turi puikų plokštumą ir lygiagretumą, todėl užtikrina tikslų plokštelių valdymą ir stabilumą.

Individualizuotos aptarnavimo galimybės: VeTekSemi gali pasiūlyti įvairių pritaikomų formų, įskaitant apvalius, kvadratinius, žiedinius ir kitus dizainus, kurių storis svyruoja nuo 3 mm iki 10 mm. Šis pritaikymas užtikrina, kad mūsų aliuminio oksido keramikos vakuuminiai griebtuvai atitiktų specifinius skirtingų puslaidininkių gamybos procesų poreikius ir tikrai būtų idealus pasirinkimas.

„VeTek Semiconductor“ yra įsipareigojusi teikti pažangias technologijas ir produktų sprendimus puslaidininkių pramonei, todėl nuoširdžiai tikimės būti jūsų ilgalaikis partneris Kinijoje.

TheCheminė formulėaliuminio oksido keramika：

„VeTek“ puslaidininkisAliuminio keramikos vakuuminių griebtuvų parduotuvės: