„Vetek Semiconductor“ yra profesionalus „Semiconductor Quartz Bell Jar“ gamintojas ir tiekėjas Kinijoje. Mūsų puslaidininkinis kvarcinis varpelis yra plačiai naudojamas pagrindiniuose puslaidininkių gamybos įrangos komponentuose, ypač CVD, difuzijos, oksidacijos ir PVD procesuose. „Vetek Semiconductor“ yra įsipareigojusi teikti pažangius „Semiconductor Quartz Bell Jar“ produktus ir techninius sprendimus puslaidininkių pramonei. Sveiki atvykę į jūsų tolesnius klausimus.
SėklosPuslaidininkisKvarcinis varpelio stiklainisvaidina keletą pagrindinių vaidmenų puslaidininkių apdorojime. į varpelio jar vakuuminė sistemane tik užtikrina stabilią ir kontroliuojamą reakcijos aplinką, bet ir užtikrina įvairių procesų efektyvumą bei tikslumą dėl savo puikaus terminio stabilumo, cheminio inertiškumo ir optinio skaidrumo. Šios savybės taip pat lemia taivarpinė vakuuminė kamerayra nepakeičiamas komponentas puslaidininkių gamybos procese.
SėklosPuslaidininkinis kvarcas sukuria sandarią apdorojimo aplinką, kuri leidžia proceso dujoms tolygiai paskirstyti ir reaguoti su plokštelės paviršiumi kontroliuojamomis sąlygomis. TodėlPuslaidininkinis kvarcinis varpelio stiklainisPaprastai naudojamas tokiuose procesuose kaip CVD, difuzija ir oksidacija, siekiant tiksliai kontroliuoti atmosferos sudėtį ir slėgį, taip užtikrinant plėvelės vienodumą ir medžiagos grynumą.
Tuo pačiu metu kvarcinės medžiagos turi puikų šiluminį stabilumą, atsparumą aukštai temperatūrai (puslaidininkių apdorojimo aukšta temperatūra paprastai siekia 1000 °C ar daugiau) ir gaminio charakteristikas, leidžiančias išlaikyti stabilią formą ir dydį kaitinant ir aušinant. Tai lemia, kadKvarcinis varpelio stiklainisgali visiškai užtikrinti plokštelės paviršiaus temperatūros vienodumą aukštos temperatūros difuzijos ir oksidacijos aplinkoje, taip pagerinant nusodinto arba išsklaidyto sluoksnio kokybę ir vienodumą.
Dar svarbiau,Sėklospuslaidininkinis didelio grynumo kvarcas nėra lengva reaguoti su proceso dujomis aukštos temperatūros aplinkoje ir turi didelį atsparumą korozijai. Ši gaminio charakteristika lemia, kad procesuose, kuriuose naudojamos korozinės dujos (pvz., kai kurie CVD procesai),Puslaidininkinis kvarcinis varpelio stiklainisgali visiškai išlaikyti cheminį stabilumą, taip išvengiant puslaidininkinių įtaisų užteršimo.
„VeTek“ puslaidininkisKvarcinis varpelio stiklainis:
Puslaidininkinių lustų epitaksijos pramonės grandinės apžvalga: