Puslaidininkinis kvarcinis varpelio stiklainis

SėklosPuslaidininkisKvarcinis varpelio stiklainisvaidina keletą pagrindinių vaidmenų puslaidininkių apdorojime.Kvarcinis varpelio stiklainisne tik užtikrina stabilią ir kontroliuojamą reakcijos aplinką, bet ir užtikrina įvairių procesų efektyvumą bei tikslumą dėl savo puikaus terminio stabilumo, cheminio inertiškumo ir optinio skaidrumo. Šios savybės taip pat lemia taiKvarcinis varpelio stiklainisyra nepakeičiamas komponentas puslaidininkių gamybos procese.

SėklosPuslaidininkinis kvarcinis varpelio stiklainissukuria sandarią apdorojimo aplinką, kuri leidžia proceso dujoms tolygiai paskirstyti ir reaguoti su plokštelės paviršiumi kontroliuojamomis sąlygomis. TodėlPuslaidininkinis kvarcinis varpelio stiklainisPaprastai naudojamas tokiuose procesuose kaip CVD, difuzija ir oksidacija, siekiant tiksliai kontroliuoti atmosferos sudėtį ir slėgį, taip užtikrinant plėvelės vienodumą ir medžiagos grynumą.

Tuo pačiu metu kvarcinės medžiagos turi puikų terminį stabilumą, atsparumą aukštai temperatūrai (puslaidininkių apdorojimo aukšta temperatūra paprastai siekia 1000 ° C ar daugiau) ir gaminio charakteristikas, leidžiančias išlaikyti stabilią formą ir dydį kaitinant ir aušinant. Tai lemia, kadKvarcinis varpelio stiklainisgali visiškai užtikrinti plokštelės paviršiaus temperatūros vienodumą aukštos temperatūros difuzijos ir oksidacijos aplinkoje, taip pagerinant nusodinto arba išsklaidyto sluoksnio kokybę ir vienodumą.

Dar svarbiau,„Vetek“ puslaidininkinis kvarcinis varpelio stiklainisnėra lengva reaguoti su proceso dujomis aukštos temperatūros aplinkoje ir turi didelį atsparumą korozijai. Ši gaminio charakteristika lemia, kad procesuose, kuriuose naudojamos korozinės dujos (pvz., kai kurie CVD procesai),Puslaidininkinis kvarcinis varpelio stiklainisgali visiškai išlaikyti cheminį stabilumą, taip išvengiant puslaidininkinių įtaisų užteršimo.

„VeTek“ puslaidininkisKvarcinis varpelio stiklainis:

Puslaidininkinių lustų epitaksijos pramonės grandinės apžvalga: