ALD lydyto kvarco pjedestalas

VeTek Semiconductor ALD lydyto kvarco pjedestalas vaidina pagrindinį vaidmenį puslaidininkių gamybos procese kaip pagalbinė struktūrakvarcinė valtis, kuris naudojamas laikytivaflį. Lydytas kvarcinis pjedestalas padeda pasiekti vienodą plėvelės nusodinimą išlaikant stabilią temperatūrą, kuri tiesiogiai veikia puslaidininkinių įtaisų veikimą ir patikimumą. Be to, kvarcinis pjedestalas užtikrina tolygų šilumos ir šviesos pasiskirstymą proceso kameroje, taip pagerindamas bendrą nusodinimo proceso kokybę.

ALD lydyto kvarco pjedestalo medžiagos pranašumai

Atsparumas aukštai temperatūrai: Lydyto kvarco pjedestalo minkštėjimo temperatūra yra apie 1730 ° C, ji ilgą laiką gali atlaikyti aukštą temperatūrą nuo 1100 ° C iki 1250 ° C ir gali būti veikiama ekstremalios temperatūros aplinkos iki 1450 ° C. trumpam laikui.

Puikus Atsparumas korozijai: Lydytas kvarcas yra labai chemiškai inertiškas beveik visoms rūgštims, išskyrus vandenilio fluorido rūgštį. Jo atsparumas rūgštims yra 30 kartų didesnis nei keramikos ir 150 kartų didesnis nei nerūdijančio plieno. Lydytas kvarcas yra chemiškai neprilygstamas aukštoje temperatūroje, todėl jis yra ideali medžiaga sudėtingiems cheminiams procesams.

Terminis stabilumas: Pagrindinis lydyto kvarcinio pjedestalo medžiagos bruožas yra itin mažas šiluminio plėtimosi koeficientas. Tai reiškia, kad jis gali lengvai susidoroti su dramatiškais temperatūros svyravimais ir nesutrūkinėdamas. Pavyzdžiui, lydytą silicio kvarcą galima greitai įkaitinti iki 1100°C ir panardinti tiesiai į šaltą vandenį nepažeidžiant, o tai svarbi savybė esant didelėms įtemptoms gamybos sąlygoms.

Griežtas gamybos procesas: lydyto silicio dioksido pjedestalų gamybos procesas griežtai atitinka aukštus kokybės standartus. Gamybos procese naudojami karštojo formavimo ir suvirinimo procesai, kurie paprastai atliekami 10 000 klasės švarių patalpų aplinkoje. Po to lydyto kvarcinio stiklo pjedestalas kruopščiai nuvalomas itin grynu vandeniu (18 MΩ), kad būtų užtikrintas gaminio grynumas ir optimalus veikimas. Kiekvienas gatavas produktas yra griežtai tikrinamas, valomas ir supakuojamas į 1000 ar aukštesnės klasės švarią patalpą, kad atitiktų aukštus puslaidininkių pramonės standartus.

Didelio grynumo nepermatomas silicio kvarco medžiaga

VeTeksemi ALD lydyto kvarco pjedestalas naudoja didelio grynumo nepermatomą kvarcinę medžiagą, kad efektyviai izoliuotų šilumą ir šviesą. Dėl puikios šilumos ekranavimo ir šviesos ekranavimo savybių jis palaiko vienodą temperatūros pasiskirstymą proceso kameroje, užtikrinant plonos masės vienodumą ir konsistenciją.plėvelės nusodinimasant plokštelės paviršiaus.

Taikymo laukai

Lydyto kvarco pjedestalai dėl puikių eksploatacinių savybių yra plačiai naudojami daugelyje puslaidininkių pramonės sričių. Įatominio sluoksnio nusodinimo (ALD) procesas, ji palaiko tikslią plėvelės augimo kontrolę ir užtikrina puslaidininkinių įtaisų pažangą. Įžemo slėgio cheminio nusodinimo garais (LPCVD) procesas, didelio grynumo kvarco pjedestalo terminis stabilumas ir šviesos ekranavimas užtikrina vienodą plonų plėvelių nusodinimą, taip pagerinant įrenginio veikimą ir našumą.

Be to, difuzijos plokštelių procese Fused Quartz Pjedestal atsparumas aukštai temperatūrai ir atsparumas cheminei korozijai užtikrina puslaidininkinės medžiagos legiravimo proceso patikimumą ir nuoseklumą. Šie pagrindiniai procesai lemia puslaidininkinių įtaisų elektrines charakteristikas, o aukštos kokybės lydyto kvarco medžiagos vaidina nepakeičiamą vaidmenį siekiant geriausių šių procesų rezultatų.

„VeTek“ puslaidininkių ALD lydyto kvarcinio pjedestalo parduotuvės: