CVD SiC danga Epitaksinis susceptorius

„VeTek Semiconductor's CVD SiC Coating Epitaxy Susceptor“ yra tiksliai sukurtas įrankis, skirtas puslaidininkinių plokštelių tvarkymui ir apdorojimui. Šis SiC dangos epitaksinis susceptorius atlieka gyvybiškai svarbų vaidmenį skatinant plonų plėvelių, episluoksnių ir kitų dangų augimą bei gali tiksliai kontroliuoti temperatūrą ir medžiagos savybes. Sveiki atvykę į jūsų tolesnius klausimus.

Siųsti užklausą

Prekės aprašymas

CVD SiC Coating Epitaxy Susceptor yra tam tikros rūšiesMOCVD LED Epi susceptorius, kuris atlieka pagrindinį vaidmenį CVD reaktoriuje. Kaip Epi Susceptor, jis yra ne tik šilumos šaltinis, bet ir suteikia stabilią atramą substratui nusodinimo proceso metu.SiC dangagali veiksmingai sumažinti grafito susceptoriaus oksidaciją ir užteršimą aukštos temperatūros aplinkoje, taip užtikrinant aukštą nusodintos medžiagos grynumą.

PagrindinisCVD SiC dangos fizinės savybės:

Pagrindinės fizinės CVD SiC dangos savybės
Turtas	Tipinė vertė
Kristalinė struktūra	FCC β fazės polikristalinė, daugiausia (111) orientuota
Tankis	3,21 g/cm³
Kietumas	2500 Vickers kietumas (500 g apkrova)
Grūdų dydis	2 ~ 10 μm
Cheminis grynumas	99,99995 %
Šilumos talpa	640 J·kg^-1·K^-1
Sublimacijos temperatūra	2700 ℃
Lankstumo stiprumas	415 MPa RT 4 taškų
Youngo modulis	430 Gpa 4pt lenkimas, 1300 ℃
Šilumos laidumas	300 W · m^-1·K^-1
Šiluminė plėtra (CTE)	4,5 × 10^-6K^-1

CVD SiC Coating Epitaxy Susceptor produkto pranašumai:

● Tikslus nusodinimas: Su CVD SiC Coating Epitaxy Susceptor galite pasiekti tiksliai kontroliuojamą plonų plėvelių ir dangų nusodinimą, kad gautumėte aukštos kokybės ir pakartojamus rezultatus.

● Sumažintas užterštumas: SiC danga sumažina užteršimo riziką nuoEpi SuceptorGrafito pagrindu, užtikrinantis nusodintos medžiagos grynumą.

● Patvarumas: SiC danga padidina Graphite Epitaxy Susceptor atsparumą oksidacijai ir cheminei korozijai, suteikdama ilgesnį tarnavimo laiką ir didesnį patikimumą.

„VeTek“ puslaidininkisyra įsipareigojusi teikti aukštos kokybės produktus ir konkurencingas kainas. Ar tai yraJei EPI imtuvasarba didelio grynumo grafito EPI susceptorius, galime patenkinti jūsų poreikius. Nekantraujame tapti jūsų ilgalaikiu partneriu Kinijoje.

„VeTek“ puslaidininkisCVD SiC Coating Epitaxy Susceptor Produktų parduotuvės: