SiC padengtas atraminis žiedas

„VeTek“ puslaidininkis, pirmaujantis gamintojas ir tiekėjas, įsikūręs Kinijoje, specializuojasi gaminant įvairius produktus, įskaitantSiC padengti atraminiai žiedai, CVD silicio karbido dangos, tantalo karbido dangos, birūs SiC, SiC milteliai ir didelio grynumo SiC medžiagos. Mūsų pasišventimas yra pasiūlyti visapusišką techninę pagalbą ir optimalius gaminių sprendimus, pritaikytus puslaidininkių sektoriui. Nedvejodami susisiekite su mumis dėl papildomos informacijos ir pagalbos.

„VeTek“ puslaidininkis’sSiC padengti atraminiai žiedaiyra naujos kartos aukštai temperatūrai atsparios medžiagos. Kaip korozijai atsparios dangos, oksidacijai atsparios dangos ir dilimui atsparios dangos, jos gali būti naudojamos aplinkoje, aukštesnėje nei 1650 ℃, ir yra plačiai naudojamos puslaidininkių srityse.

Aukštos kokybės savybėsSiC padengti atraminiai žiedaivaidina labai svarbų vaidmenį trečios kartos puslaidininkių komponentų epitaksiniame augime.

Temperatūros vienodumo palaikymas: SiC padengti atraminiai žiedai turi puikų šilumos laidumą ir gali užtikrinti vienodą temperatūros pasiskirstymą epitaksinio augimo metu. Tai padeda sumažinti šiluminius gradientus ir įtempius plokštelės paviršiuje ir taip pagerinti epitaksinio sluoksnio kokybę.

Ypatingas cheminis stabilumas: Epitaksinio augimo proceso metuSiC padengti atraminiai žiedaigeba atsispirti cheminiam reakcijos dujų poveikiui, prailgina atraminių žiedų tarnavimo laiką ir išlaiko proceso vientisumą. Šis cheminis stabilumas padeda sumažinti užteršimo riziką ir pagerinti puslaidininkinių įtaisų grynumą ir našumą.

Tikslus padėties nustatymas: SiC padengti atraminiai žiedai gali išlaikyti tikslią plokštelės padėtį, o tai labai svarbu norint pasiekti vienodą sluoksnio nusodinimą. Šis tikslus padėties nustatymas padeda užtikrinti epitaksinio sluoksnio storio ir kokybės nuoseklumą.

Pagrindinės fizinės CVD SiC dangos savybės:

„VeTek“ puslaidininkių gamybos parduotuvė:

Puslaidininkinių lustų epitaksijos pramonės grandinės apžvalga: