Didėjant SiC medžiagų paklausai galios elektronikos, optoelektronikos ir kitose srityse, SiC monokristalų augimo technologijos kūrimas taps pagrindine mokslo ir technologinių naujovių sritimi. Kaip SiC monokristalų auginimo įrangos pagrindas, šiluminio lauko projektavimui ir toliau bus skiriamas did......
Skaityti daugiauErdvinis ALD, erdviškai izoliuotas atominio sluoksnio nusodinimas. Plokštelė juda tarp skirtingų padėčių ir kiekvienoje padėtyje yra veikiama skirtingų pirmtakų. Žemiau pateiktame paveikslėlyje palyginamas tradicinis ALD ir erdviškai izoliuotas ALD.
Skaityti daugiau