Tantalo karbido technologijos proveržis, SiC epitaksinė tarša sumažėjo 75%?

Neseniai Vokietijos tyrimų institutas Fraunhofer IISB padarė proveržį tiriant ir plėtojanttantalo karbido dengimo technologija, ir sukūrė purškimo dangos tirpalą, kuris yra lankstesnis ir ekologiškesnis nei CVD nusodinimo tirpalas, ir buvo parduotas.

Be to, buitinis puslaidininkis „vetek“ taip pat padarė laimėjimų šioje srityje. Daugiau informacijos rasite žemiau.

Fraunhofer IISB:

Naujos TaC dengimo technologijos kūrimas

Pasak žiniasklaidos, kovo 5 d.Sudėtinis puslaidininkis“, Fraunhofer IISB sukūrė naujątantalo karbido (TaC) dengimo technologija- Taccotta. Technologijos licencija buvo perduota Nippon Kornmeyer Carbon Group (NKCG), o NKCG savo klientams pradėjo tiekti TaC dengtas grafito dalis.

Tradicinis TaC dangų gamybos būdas pramonėje yra cheminis garų nusodinimas (CVD), kuris susiduria su tokiais trūkumais kaip didelės gamybos sąnaudos ir ilgas pristatymo laikas. Be to, CVD metodas taip pat yra linkęs į TaC įtrūkimus pakartotinai kaitinant ir aušinant komponentus. Šie įtrūkimai atidengia pagrindinį grafitą, kuris laikui bėgant labai suyra ir jį reikia pakeisti.

Taccotta naujovė yra ta, kad joje naudojamas vandens pagrindu purškiamas dengimo metodas, po kurio atliekamas temperatūros apdorojimas, kad būtų suformuota TaC danga, pasižyminti dideliu mechaniniu stabilumu ir reguliuojamu storiu.grafito substratas. Dangos storis gali būti reguliuojamas nuo 20 mikronų iki 200 mikronų, kad atitiktų skirtingus naudojimo reikalavimus.

Fraunhofer IISB sukurta TaC proceso technologija gali reguliuoti reikalingas dangos savybes, pvz., storį, kaip parodyta žemiau, nuo 35 μm iki 110 μm

Konkrečiai, Taccotta purškiama danga taip pat turi šias pagrindines savybes ir pranašumus:

● Nekenksmingesnis aplinkai: naudojant vandens pagrindo purškimo dangą, šis metodas yra draugiškesnis aplinkai ir jį lengva pramonizuoti;

● Lankstumas: Taccotta technologija gali prisitaikyti prie skirtingų dydžių ir geometrijos komponentų, todėl galima iš dalies padengti ir atnaujinti komponentus, o tai neįmanoma CVD.

● Sumažėjusi tantalo tarša: SiC epitaksinėje gamyboje naudojami grafito komponentai su Taccotta danga, o tantalo tarša sumažinama 75 %, palyginti su esamais.CVD dangos.

● Atsparumas dėvėjimuisi: Įbrėžimų bandymai rodo, kad padidinus dangos storį galima žymiai pagerinti atsparumą dilimui.

Įbrėžimų testas

Pranešama, kad šią technologiją komercializavimui skatino NKCG, bendra įmonė, daugiausia dėmesio skirianti aukštos kokybės grafito medžiagų ir susijusių gaminių tiekimui. NKCG ateityje taip pat ilgą laiką dalyvaus kuriant Taccotta technologiją. Bendrovė savo klientams pradėjo tiekti grafito komponentus, pagrįstus Taccotta technologija.

Vetek Semiconductor skatina TaC lokalizaciją

2023 m. pradžioje vetek semiconductor pristatė naujos kartosSiC kristalų augimasšiluminio lauko medžiaga -akytas tantalo karbidas.

Remiantis pranešimais, vetek puslaidininkių kūrimo proveržis prasidėjoakytas tantalo karbidassu dideliu poringumu per nepriklausomus technologijų tyrimus ir plėtrą. Jo akytumas gali siekti iki 75 %, o tai yra tarptautinis lyderis.