MOCVD susceptorius su TaC danga

„VeTek Semiconductor“ yra visapusiškas tiekėjas, užsiimantis TaC dangų ir SiC dangų dalių tyrimais, plėtra, gamyba, projektavimu ir pardavimu. Mūsų kompetencija yra gaminant moderniausius MOCVD susceptorius su TaC danga, kurie atlieka gyvybiškai svarbų vaidmenį LED epitaksijos procese. Maloniai kviečiame aptarti su mumis užklausas ir daugiau informacijos.

Siųsti užklausą

Prekės aprašymas

„VeTek Semiconductor“ yra pirmaujanti Kinijos gamintoja, tiekėja ir eksportuotoja, kurios specializacija yra MOCVD susceptorius su TaC danga. Kviečiame atvykti į mūsų gamyklą įsigyti naujausių parduodamų, žemos kainos ir aukštos kokybės MOCVD susceptorių su TaC danga. Nekantraujame su jumis bendradarbiauti.

LED epitaksė susiduria su tokiais iššūkiais kaip kristalų kokybės kontrolė, medžiagų parinkimas ir derinimas, konstrukcijos projektavimas ir optimizavimas, proceso valdymas ir nuoseklumas bei šviesos ištraukimo efektyvumas. Labai svarbu pasirinkti tinkamą epitaksinės plokštelės nešiklio medžiagą, o padengimas plona tantalo karbido (TaC) plėvele (TaC danga) suteikia papildomų pranašumų.

Renkantis epitaksinės plokštelės nešiklio medžiagą, reikia atsižvelgti į keletą pagrindinių veiksnių:

Temperatūros tolerancija ir cheminis stabilumas: LED epitaksijos procesai apima aukštą temperatūrą ir gali būti naudojami chemikalai. Todėl, norint užtikrinti nešiklio stabilumą aukštoje temperatūroje ir cheminėje aplinkoje, būtina pasirinkti medžiagas, turinčias gerą temperatūros toleranciją ir cheminį stabilumą.

Paviršiaus lygumas ir atsparumas dilimui: Epitaksinės plokštelės laikiklio paviršius turi būti geras, kad būtų užtikrintas vienodas kontaktas ir stabilus epitaksinės plokštelės augimas. Be to, svarbus atsparumas dilimui, kad būtų išvengta paviršiaus pažeidimų ir dilimo.

Šilumos laidumas: Pasirinkus gerą šilumos laidumą turinčią medžiagą, šiluma efektyviai išsklaido, palaikoma stabili epitaksinio sluoksnio augimo temperatūra ir pagerėja proceso stabilumas bei nuoseklumas.

Šiuo atžvilgiu epitaksinių plokštelių laikiklio padengimas TaC suteikia šiuos privalumus:

Stabilumas aukštoje temperatūroje: TaC danga pasižymi puikiu stabilumu aukštoje temperatūroje, leidžianti išlaikyti savo struktūrą ir veikimą aukštoje temperatūroje vykstančių epitaksijos procesų metu ir užtikrina puikų temperatūros toleranciją.

Cheminis stabilumas: TaC danga yra atspari korozijai nuo įprastų cheminių medžiagų ir atmosferos, apsaugo nešiklį nuo cheminio skilimo ir padidina jo ilgaamžiškumą.

Kietumas ir atsparumas dilimui: TaC danga pasižymi dideliu kietumu ir atsparumu dilimui, stiprina epitaksinės plokštelės laikiklio paviršių, sumažina pažeidimus ir susidėvėjimą bei prailgina jo tarnavimo laiką.

Šilumos laidumas: TaC danga pasižymi geru šilumos laidumu, padeda išsklaidyti šilumą, palaiko stabilią epitaksinio sluoksnio augimo temperatūrą ir pagerina proceso stabilumą bei nuoseklumą.

Todėl renkantis epitaksinį plokštelių laikiklį su TaC danga padeda spręsti LED epitaksijos iššūkius, tenkinant aukštos temperatūros ir cheminės aplinkos reikalavimus. Ši danga pasižymi tokiais pranašumais kaip stabilumas aukštoje temperatūroje, cheminis stabilumas, kietumas ir atsparumas dilimui bei šilumos laidumas, todėl pagerėja epitaksinių plokštelių laikiklio veikimas, tarnavimo laikas ir gamybos efektyvumas.

Pagrindinės fizinės TaC dangos savybės:

TaC dangos fizinės savybės
Tankis	14,3 (g/cm³)
Savitoji spinduliuotė	0.3
Šiluminio plėtimosi koeficientas	6.3 10-6/K
Kietumas (HK)	2000 HK
Atsparumas	1×10-5 Ohm*cm
Terminis stabilumas	<2500 ℃
Keičiasi grafito dydis	-10-20um
Dangos storis	≥20um tipinė vertė (35um±10um)