CVD SiC dangos antgalis

„VeTek Semiconductor“ yra specializuotas CVD SiC dangos priedų, skirtų epitaksiniams įrenginiams, pvz., „CVD SiC Coating“ pusmėnulio dalims, ir jos priedų „CVD SiC Coating Nozzels“ gamintojas. Sveiki atvykę į mūsų užklausą.

PE1O8 yra visiškai automatinė kasečių į kasetes sistema, skirta apdoroti SiC plokšteles iki 200 mm. Formatą galima perjungti tarp 150 ir 200 mm, taip sumažinant įrankio prastovos laiką. Šildymo etapų sumažinimas padidina našumą, o automatizavimas mažina darbo jėgą ir pagerina kokybę bei pakartojamumą. Siekiant užtikrinti efektyvų ir ekonomišką epitaksijos procesą, nurodomi trys pagrindiniai veiksniai: 1) greitas procesas, 2) didelis storio ir dopingo vienodumas ir 3) defektų susidarymo sumažinimas epitaksijos proceso metu. PE1O8 maža grafito masė ir automatinė pakrovimo/iškrovimo sistema leidžia atlikti standartinį važiavimą greičiau nei per 75 minutes (standartinė 10 μm Schottky diodo formulė naudoja 30 μm/h augimo greitį). Automatinė sistema leidžia pakrauti / iškrauti aukštoje temperatūroje. Dėl to kaitinimo ir aušinimo laikas yra trumpas, o kepimo etapas yra slopinamas. Ši ideali sąlyga leidžia augti tikroms neleguotoms medžiagoms.

Silicio karbido epitaksijos procese CVD SiC dangos purkštukai vaidina lemiamą vaidmenį epitaksinių sluoksnių augimui ir kokybei. Čia yra išplėstas purkštukų vaidmens silicio karbido epitaksijoje paaiškinimas:

Dujų tiekimas ir kontrolė: antgaliai naudojami tiekti dujų mišinį, reikalingą epitaksijos metu, įskaitant silicio šaltinio dujas ir anglies šaltinio dujas. Per purkštukus galima tiksliai kontroliuoti dujų srautą ir santykius, kad būtų užtikrintas vienodas epitaksinio sluoksnio augimas ir norima cheminė sudėtis.

Temperatūros kontrolė: Purkštukai taip pat padeda kontroliuoti temperatūrą epitaksijos reaktoriuje. Silicio karbido epitaksijoje temperatūra yra esminis veiksnys, turintis įtakos augimo greičiui ir kristalų kokybei. Per purkštukus tiekiant šilumą arba aušinimo dujas, epitaksinio sluoksnio augimo temperatūrą galima reguliuoti optimalioms augimo sąlygoms.

Dujų srauto paskirstymas: purkštukų konstrukcija įtakoja tolygų dujų pasiskirstymą reaktoriuje. Tolygus dujų srauto pasiskirstymas užtikrina epitaksinio sluoksnio vienodumą ir vienodą storį, išvengiant problemų, susijusių su medžiagų kokybės netolygumu.

Užteršimo priemaišomis prevencija: tinkamas purkštukų dizainas ir naudojimas gali padėti išvengti užteršimo priemaišomis epitaksijos proceso metu. Tinkama purkštuko konstrukcija sumažina išorinių priemaišų patekimo į reaktorių tikimybę, užtikrinant epitaksinio sluoksnio grynumą ir kokybę.

Pagrindinės fizinės CVD SiC dangos savybės:

Gamybos parduotuvės:

Puslaidininkinių lustų epitaksijos pramonės grandinės apžvalga: